共 50 条
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イオンビーム源を使用した光学装置の製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20210533444
申请日：
2019-12-17
公开(公告)号：
JP7555340B2
公开(公告)日：
2024-09-24
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/302
IPC分类号：
H01J37/08
H01L21/3065
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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