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MIM电容器件及其制造方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202310651603.7
申请日
:
2023-06-02
公开(公告)号
:
CN119069463A
公开(公告)日
:
2024-12-03
发明(设计)人
:
王新鹏
范桂林
蒋文丽
崔强伟
王亚飞
申请人
:
芯恩(青岛)集成电路有限公司
申请人地址
:
266000 山东省青岛市黄岛区红石崖街道山王河路1088号
IPC主分类号
:
H01L23/64
IPC分类号
:
H01L23/522
H10N97/00
代理机构
:
上海思捷知识产权代理有限公司 31295
代理人
:
沈宗晶
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
山东省 青岛市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2024-12-20
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):H01L 23/64申请日:20230602
2024-12-03
公开
公开
共 50 条
[1]
MIM电容器及其制造方法
[P].
肖德元
论文数:
0
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肖德元
;
季明华
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季明华
;
吴汉明
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吴汉明
.
中国专利
:CN101989621B
,2011-03-23
[2]
MIM电容器器件及其制造方法
[P].
何忠祥
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何忠祥
;
道格拉斯·D·考尔堡
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道格拉斯·D·考尔堡
;
埃比尼泽·E.·埃尚
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埃比尼泽·E.·埃尚
;
罗伯特·M.·拉塞尔
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罗伯特·M.·拉塞尔
.
中国专利
:CN100546048C
,2007-12-26
[3]
MIM电容器及其制造方法
[P].
李浩业
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机构:
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
李浩业
;
陈武佳
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机构:
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
陈武佳
;
蔡巧明
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机构:
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
蔡巧明
;
林宏
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机构:
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
林宏
.
中国专利
:CN119451561A
,2025-02-14
[4]
MIM双电容器结构及其制造方法
[P].
张海烽
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张海烽
;
张珏
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张珏
;
陈思安
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陈思安
;
姜俊克
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姜俊克
.
中国专利
:CN104022015A
,2014-09-03
[5]
MIM电容器及其制造方法
[P].
徐瑞璋
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机构:
武汉新芯集成电路股份有限公司
武汉新芯集成电路股份有限公司
徐瑞璋
;
薛广杰
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机构:
武汉新芯集成电路股份有限公司
武汉新芯集成电路股份有限公司
薛广杰
;
李乐
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机构:
武汉新芯集成电路股份有限公司
武汉新芯集成电路股份有限公司
李乐
.
中国专利
:CN118510382A
,2024-08-16
[6]
MIM电容器及其制造方法
[P].
邵迎亚
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邵迎亚
;
周启航
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周启航
;
丁笙玹
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丁笙玹
;
孔德旺
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孔德旺
.
中国专利
:CN112103270A
,2020-12-18
[7]
MIM电容器及其制造方法
[P].
罗埃尔·达门
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罗埃尔·达门
;
格哈德·库普斯
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格哈德·库普斯
;
皮特·杰勒德·斯蒂内肯
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皮特·杰勒德·斯蒂内肯
.
中国专利
:CN103855157B
,2014-06-11
[8]
MIM电容器及其制造方法
[P].
叶菁
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叶菁
;
王奇峰
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王奇峰
.
中国专利
:CN101989620A
,2011-03-23
[9]
MIM电容器及其制造方法
[P].
C·杨
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C·杨
;
L·A·克莱文格
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L·A·克莱文格
;
T·J·达尔顿
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T·J·达尔顿
;
L·C·苏
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L·C·苏
.
中国专利
:CN101160655A
,2008-04-09
[10]
MIM电容器及其制造方法
[P].
杨宏旭
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杨宏旭
;
刘俊文
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刘俊文
;
牛忠彩
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牛忠彩
.
中国专利
:CN111653544A
,2020-09-11
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