MIM电容器及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310948099.7

申请日：

2023-07-31

公开(公告)号：

CN119451561A

公开(公告)日：

2025-02-14

发明(设计)人：

李浩业陈武佳蔡巧明林宏

申请人：

上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司

申请人地址：

201807 上海市嘉定区娄陆公路497号

IPC主分类号：

H10N97/00

IPC分类号：

H01L23/64 H01L23/522

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

张亚静

法律状态：

公开

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-14	公开	公开
2025-03-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H10N 97/00申请日:20230731

共 50 条

[1]

MIM电容器件及其制造方法 [P].

王新鹏 ;

范桂林 ;

蒋文丽 ;

崔强伟 ;

王亚飞 .

中国专利 :CN119069463A ,2024-12-03

[2]

MIM电容器及其制造方法 [P].

徐瑞璋 ;

薛广杰 ;

李乐 .

中国专利 :CN118510382A ,2024-08-16

[3]

MIM电容器及其制造方法 [P].

肖德元 ;

季明华 ;

吴汉明 .

中国专利 :CN101989621B ,2011-03-23

[4]

MIM电容器及其制造方法 [P].

邵迎亚 ;

周启航 ;

丁笙玹 ;

孔德旺 .

中国专利 :CN112103270A ,2020-12-18

[5]

MIM电容器及其制造方法 [P].

罗埃尔·达门 ;

格哈德·库普斯 ;

皮特·杰勒德·斯蒂内肯 .

中国专利 :CN103855157B ,2014-06-11

[6]

MIM电容器及其制造方法 [P].

叶菁 ;

王奇峰 .

中国专利 :CN101989620A ,2011-03-23

[7]

MIM电容器及其制造方法 [P].

C·杨 ;

L·A·克莱文格 ;

T·J·达尔顿 ;

L·C·苏 .

中国专利 :CN101160655A ,2008-04-09

[8]

MIM电容器及其制造方法 [P].

杨宏旭 ;

刘俊文 ;

牛忠彩 .

中国专利 :CN111653544A ,2020-09-11

[9]

MIM电容器及其制造方法 [P].

杨鸣鹤 ;

金子貴昭 ;

黄晓橹 .

中国专利 :CN109037445A ,2018-12-18

[10]

MIM电容器及其制造方法 [P].

许丹 .

中国专利 :CN102299184A ,2011-12-28

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