一种半导体结构外延层的再生长方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202411449882.X
申请日
2024-10-17
公开(公告)号
CN118969640A
公开(公告)日
2024-11-15
发明(设计)人
冷祥 李明欣 魏明
申请人
无锡市华辰芯光半导体科技有限公司
申请人地址
214115 江苏省无锡市新吴区震泽路18-3号射手座A座5楼502室
IPC主分类号
H01L21/56
IPC分类号
H01L21/02 H01L21/67 H01L23/31 H01S5/02
代理机构
北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250
代理人
张妙琪
法律状态
授权
国省代码
江苏省 无锡市
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共 50 条
[1]
一种半导体结构外延层的再生长方法 [P]. 
冷祥 ;
李明欣 ;
魏明 .
中国专利 :CN118969640B ,2025-02-14
[2]
外延层、外延层生长方法及半导体结构 [P]. 
赵旭熠 ;
王玮竹 ;
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[3]
衬底上外延层的生长方法及半导体结构 [P]. 
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李炜 ;
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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郭银涛 ;
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[9]
半导体结构的生长方法 [P]. 
王骄 ;
王俊 ;
郭银涛 ;
李恺 ;
夏明月 .
中国专利 :CN119101988A ,2024-12-10
[10]
外延生长基板与半导体装置、外延生长方法 [P]. 
生田哲也 ;
日野大辅 ;
柴田智彦 .
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