加热座及碳化硅外延设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420042832.9

申请日：

2024-01-08

公开(公告)号：

CN222024559U

公开(公告)日：

2024-11-19

发明(设计)人：

孙涛孙国峰王彦君孙晨光陈海波罗永恒徐强元佳丽付子雨马雯静

申请人：

中环领先半导体科技股份有限公司

申请人地址：

214203 江苏省无锡市宜兴经济技术开发区东氿大道

IPC主分类号：

C30B25/10

IPC分类号：

C30B29/36 C30B25/08 C30B25/16

代理机构：

深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570

代理人：

张华蒙

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-19	授权	授权

共 50 条

[1]

碳化硅外延设备及碳化硅外延层制备方法 [P].

刘兴昉 ;

杨尚宇 ;

闫果果 ;

王雷 ;

赵万顺 ;

孙国胜 ;

曾一平 .

中国专利 :CN115852490B ,2025-08-29

[2]

碳化硅外延生长设备 [P].

陈豪杰 ;

范谞 ;

余乐俊 ;

吕威 ;

周辜名 .

中国专利 :CN119392374A ,2025-02-07

[3]

碳化硅外延生长设备 [P].

陈豪杰 ;

范谞 ;

余乐俊 ;

吕威 ;

周辜名 .

中国专利 :CN223496708U ,2025-10-31

[4]

一种碳化硅外延设备及外延生长方法 [P].

张广辉 ;

蒲勇 ;

李达 ;

卢勇 ;

布丛郝 ;

徐玉田 .

中国专利 :CN117604642A ,2024-02-27

[5]

碳化硅外延设备 [P].

杨龙 ;

吴会旺 ;

李召永 ;

白春杰 ;

李伟峰 ;

张国良 ;

袁肇耿 ;

薛宏伟 .

中国专利 :CN216514256U ,2022-05-13

[6]

碳化硅外延设备 [P].

傅林坚 ;

刘毅 ;

吴正闪 ;

朱亮 ;

曹建伟 .

中国专利 :CN221480160U ,2024-08-06

[7]

碳化硅外延设备 [P].

刘永明 ;

王东兴 ;

周慧娟 .

中国专利 :CN120649150A ,2025-09-16

[8]

碳化硅外延设备 [P].

刘永明 ;

王东兴 ;

周慧娟 .

中国专利 :CN120649150B ,2025-10-28

[9]

一种碳化硅外延设备用加热装置及外延设备 [P].

王威威 ;

张哲伟 ;

曹毅 .

中国专利 :CN221837147U ,2024-10-15

[10]

氯硅比分区域可控的碳化硅外延生长方法及碳化硅外延片 [P].

张永强 ;

尹志鹏 ;

尹浩田 ;

李晨阳 ;

杨龙 ;

薛宏伟 .

中国专利 :CN119352150A ,2025-01-24

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