一种镀膜腔加热装置及镀膜设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420833722.4

申请日：

2024-04-22

公开(公告)号：

CN222139259U

公开(公告)日：

2024-12-10

发明(设计)人：

刘斌鹏张庭恺陈浩蔡永梅余浩何胜徐伟智

申请人：

正泰新能科技股份有限公司

申请人地址：

314400 浙江省嘉兴市海宁市尖山新区吉盛路1号

IPC主分类号：

C23C16/44

IPC分类号：

C23C16/52

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

张春蕾

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种镀膜腔室破真空装置及镀膜设备 [P].

彭军杆 ;

殷文杰 ;

陈刚 .

中国专利 :CN221918214U ,2024-10-29

[2]

加热装置以及镀膜设备 [P].

孙明 ;

王雪戈 .

中国专利 :CN209162179U ,2019-07-26

[3]

一种镀膜基板固定装置、镀膜腔室及镀膜设备 [P].

刘智成 ;

廖明墙 ;

李明 ;

权玉婕 ;

杨振焘 .

中国专利 :CN209797782U ,2019-12-17

[4]

加热装置及镀膜设备 [P].

祁文杰 ;

张武 .

中国专利 :CN222064646U ,2024-11-26

[5]

加热装置及镀膜设备 [P].

宋新国 ;

岑福达 ;

陆楷武 .

中国专利 :CN223468447U ,2025-10-24

[6]

一种管式PECVD设备及其镀膜腔加热装置 [P].

朱双双 ;

左敏 ;

刘强 ;

潘景伟 .

中国专利 :CN215713369U ,2022-02-01

[7]

镀膜设备用加热腔体及镀膜设备 [P].

李定伟 .

中国专利 :CN209338645U ,2019-09-03

[8]

一种镀膜设备中的加热传感装置及镀膜设备 [P].

徐荣桢 .

中国专利 :CN209906878U ,2020-01-07

[9]

加热装置和镀膜设备 [P].

左国军 ;

梁建军 ;

朱海剑 .

中国专利 :CN215856321U ,2022-02-18

[10]

加热装置和镀膜设备 [P].

左国军 ;

梁建军 ;

朱海剑 .

中国专利 :CN215828858U ,2022-02-15

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