加热装置及镀膜设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202422891990.4
申请日
2024-11-26
公开(公告)号
CN223468447U
公开(公告)日
2025-10-24
发明(设计)人
宋新国 岑福达 陆楷武
申请人
广东先导元创精密科技有限公司
申请人地址
510623 广东省广州市天河区花城大道68号4703房
IPC主分类号
C23C16/46
IPC分类号
C23C16/458 C23C14/50
代理机构
长沙辰齐知壹知识产权代理事务所(普通合伙) 43290
代理人
肖小龙
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
加热装置、镀膜设备及镀膜设备的使用方法 [P]. 
汤亚东 ;
左敏 ;
胡磊 ;
郭志强 .
中国专利 :CN119506844A ,2025-02-25
[2]
加热装置及镀膜设备 [P]. 
祁文杰 ;
张武 .
中国专利 :CN222064646U ,2024-11-26
[3]
载板、加热装置及镀膜设备 [P]. 
付静 ;
李开典 .
中国专利 :CN222274683U ,2024-12-31
[4]
硅片承托加热装置及镀膜设备 [P]. 
孟子博 ;
李宏伟 ;
霍亭亭 ;
殷志豪 ;
王永恒 ;
郭丛 ;
侯承利 ;
杨广涛 ;
陈达明 .
中国专利 :CN222434622U ,2025-02-07
[5]
一种镀膜腔加热装置及镀膜设备 [P]. 
刘斌鹏 ;
张庭恺 ;
陈浩 ;
蔡永梅 ;
余浩 ;
何胜 ;
徐伟智 .
中国专利 :CN222139259U ,2024-12-10
[6]
加热装置和镀膜设备 [P]. 
左国军 ;
梁建军 ;
朱海剑 .
中国专利 :CN215856321U ,2022-02-18
[7]
加热装置和镀膜设备 [P]. 
左国军 ;
梁建军 ;
朱海剑 .
中国专利 :CN215828858U ,2022-02-15
[8]
加热承托装置、镀膜设备 [P]. 
祁文杰 ;
卢秋霞 ;
张武 .
中国专利 :CN222729895U ,2025-04-08
[9]
加热装置以及镀膜设备 [P]. 
孙明 ;
王雪戈 .
中国专利 :CN209162179U ,2019-07-26
[10]
一种加热装置和镀膜设备 [P]. 
赵赞良 ;
赵永涛 .
中国专利 :CN211848134U ,2020-11-03