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真空泵
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010231130.1
申请日：
2020-03-27
公开(公告)号：
CN113445016B
公开(公告)日：
2024-11-19
发明(设计)人：
顾崇诚
申请人：
信强(宁波)半导体设备制造有限公司
申请人地址：
315480 浙江省宁波市余姚市欣朗路128号
IPC主分类号：
C23C14/56
IPC分类号：
C23C16/54
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
骆希聪
法律状态：
授权
国省代码：
浙江省
宁波市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-11-19 | 授权 | 授权 |