一种铂靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411041544.2

申请日：

2024-07-31

公开(公告)号：

CN118932301A

公开(公告)日：

2024-11-12

发明(设计)人：

李心然王永超赵泽良王伟涛

申请人：

河南东微电子装备有限公司

申请人地址：

450000 河南省郑州市河南自贸试验区郑州片区（郑东）中州大道与三全路交叉口龙源嘉苑西苑G2号楼三层308号

IPC主分类号：

C23C14/34

IPC分类号：

B22F3/15 B22F3/24

代理机构：

河南景润知识产权代理有限公司 41262

代理人：

李侗

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-02	授权	授权
2024-11-29	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/34申请日:20240731
2024-11-12	公开	公开

共 50 条

[1]

一种铂靶材的制备方法 [P].

李心然 ;

王永超 ;

赵泽良 ;

王伟涛 .

中国专利 :CN118932301B ,2025-09-02

[2]

一种镍铂合金靶材制备方法 [P].

居炎鹏 ;

李心然 ;

赵泽良 ;

王永超 .

中国专利 :CN115415523B ,2024-04-30

[3]

一种镍铂合金靶材制备方法 [P].

居炎鹏 ;

李心然 ;

赵泽良 ;

王永超 .

中国专利 :CN115415523A ,2022-12-02

[4]

一种铬旋转靶材的制备方法 [P].

黄宇彬 ;

童培云 .

中国专利 :CN116213703B ,2025-03-28

[5]

一种铌管靶材的制备方法 [P].

王思伦 ;

崔子振 ;

谢飞 ;

杨亚飞 ;

李圣刚 ;

孟烁 .

中国专利 :CN117512531A ,2024-02-06

[6]

一种钼铌合金靶材及其制备方法 [P].

候庆龙 ;

吴荣祯 ;

张科 ;

蔡小勇 ;

安子顺 ;

张梦兰 .

中国专利 :CN111590071B ,2020-08-28

[7]

一种Cr管旋转靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

岳万祥 ;

魏铁峰 ;

张欠男 .

中国专利 :CN117733152A ,2024-03-22

[8]

钛靶热等静压焊接方法及制备的靶材 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

范文新 ;

仝连海 .

中国专利 :CN107745177A ,2018-03-02

[9]

一种靶材的制备方法 [P].

陈宝忠 ;

徐国军 ;

张蛟 ;

万捷 .

中国专利 :CN111378937A ,2020-07-07

[10]

一种NiCrCoAlY靶材及其制备方法 [P].

侯龙泉 ;

岳晓聪 ;

欧海玲 ;

马国成 ;

陆维镇 ;

黄娟 .

中国专利 :CN117535631A ,2024-02-09

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