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一种铂靶材的制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411041544.2
申请日：
2024-07-31
公开(公告)号：
CN118932301B
公开(公告)日：
2025-09-02
发明(设计)人：
李心然
王永超
赵泽良
王伟涛
申请人：
河南东微电子装备有限公司
申请人地址：
450000 河南省郑州市河南自贸试验区郑州片区（郑东）中州大道与三全路交叉口龙源嘉苑西苑G2号楼三层308号
IPC主分类号：
C23C14/34
IPC分类号：
B22F3/15
B22F3/24
代理机构：
河南景润知识产权代理有限公司 41262
代理人：
李侗
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-09-02 | 授权 | 授权 |
| 2024-11-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/34申请日:20240731 |
| 2024-11-12 | 公开 | 公开 |