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基于大气压力变化管控常压炉管程式的方法及系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410948759.6
申请日：
2024-07-15
公开(公告)号：
CN118824902A
公开(公告)日：
2024-10-22
发明(设计)人：
王灿
申请人：
上海华力集成电路制造有限公司
申请人地址：
201314 上海市浦东新区良腾路6号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/02
H01L29/423
代理机构：
上海思捷知识产权代理有限公司 31295
代理人：
侯素芹
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
上海市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-11-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20240715 |
| 2024-10-22 | 公开 | 公开 |