共 50 条
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用于表面改性的方法、系统和装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410533978.8
申请日：
2024-04-30
公开(公告)号：
CN118983263A
公开(公告)日：
2024-11-19
发明(设计)人：
R·贾卡拉朱
P·马
Y·张
D·李
申请人：
ASMIP私人控股有限公司
申请人地址：
荷兰阿尔梅勒
IPC主分类号：
H01L21/768
IPC分类号：
H01J37/32
代理机构：
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人：
王冉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-11-19 | 公开 | 公开 |