用于平坦衬底表面改性的方法和设备

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专利类型
发明
申请号
CN200880006347.X
申请日
2008-05-20
公开(公告)号
CN101641162A
公开(公告)日
2010-02-03
发明(设计)人
康瑞德·卡尔腾贝克 弗兰克·席恩利 安德里亚·巴杜斯 加桑·巴巴尔
申请人
申请人地址
德国居滕巴赫
IPC主分类号
B05C318
IPC分类号
B05C902
代理机构
北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司
代理人
王达佐;韩克飞
法律状态
著录事项变更
国省代码
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共 50 条
[1]
用于衬底的表面处理的方法和设备 [P]. 
M.温普林格 .
中国专利 :CN107078028A ,2017-08-18
[2]
用于衬底的表面处理的方法和设备 [P]. 
M.温普林格 .
中国专利 :CN111549328A ,2020-08-18
[3]
用于衬底的表面处理的方法和设备 [P]. 
M.温普林格 .
中国专利 :CN114695134A ,2022-07-01
[4]
用于衬底的表面处理的方法和设备 [P]. 
M.温普林格 .
中国专利 :CN111549327A ,2020-08-18
[5]
硅衬底的表面改性方法 [P]. 
闫发旺 ;
张峰 ;
王文宇 .
中国专利 :CN105047752A ,2015-11-11
[6]
用于衬底表面处理的装置,设备和方法 [P]. 
H·卡普勒 .
中国专利 :CN101495242A ,2009-07-29
[7]
用于对衬底进行平坦化的系统和方法 [P]. 
安东·J·德维利耶 .
中国专利 :CN107660277A ,2018-02-02
[8]
用于表面改性的方法、系统和装置 [P]. 
R·贾卡拉朱 ;
P·马 ;
Y·张 ;
D·李 .
:CN118983263A ,2024-11-19
[9]
改性表面和用于对表面进行改性的方法 [P]. 
让·保罗·查普尔 ;
让-克里斯托夫·卡斯坦 ;
齐玲 .
中国专利 :CN101808952B ,2010-08-18
[10]
用于使角质表面改性的设备和方法 [P]. 
T·E·拉伯 ;
F·F·舍曼 ;
S·G·布什 ;
S·J·A·梅什卡特 .
中国专利 :CN106456055B ,2017-02-22