用于衬底的表面处理的方法和设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010552512.4

申请日：

2014-06-24

公开(公告)号：

CN111549328A

公开(公告)日：

2020-08-18

发明(设计)人：

M.温普林格

申请人：

申请人地址：

奥地利圣弗洛里安

IPC主分类号：

C23C1448

IPC分类号：

H01L2120 H01L21762

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

卢江;刘春元

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/48 申请日:20140624
2020-08-18	公开	公开

共 50 条

[1]

用于衬底的表面处理的方法和设备 [P].

M.温普林格 .

中国专利 :CN107078028A ,2017-08-18

[2]

用于衬底的表面处理的方法和设备 [P].

M.温普林格 .

中国专利 :CN111549327A ,2020-08-18

[3]

用于衬底的表面处理的方法和设备 [P].

M.温普林格 .

中国专利 :CN114695134A ,2022-07-01

[4]

用于衬底表面处理的装置，设备和方法 [P].

H·卡普勒 .

中国专利 :CN101495242A ,2009-07-29

[5]

用于处理衬底的设备和方法 [P].

J·P·加西亚 .

中国专利 :CN1794420B ,2006-06-28

[6]

用于处理衬底的表面的方法和装置 [P].

文森特·卡尔沃·阿隆索 ;

约科·朗 .

:CN120776276A ,2025-10-14

[7]

用于处理衬底表面的方法、系统和设备 [P].

汤福 ;

E·希罗 ;

M·吉文斯 .

:CN119480617A ,2025-02-18

[8]

用于处理硅衬底的方法和设备 [P].

安吉秀 ;

张承逸 .

中国专利 :CN102446707A ,2012-05-09

[9]

用于平坦衬底表面改性的方法和设备 [P].

康瑞德·卡尔腾贝克 ;

弗兰克·席恩利 ;

安德里亚·巴杜斯 ;

加桑·巴巴尔 .

中国专利 :CN101641162A ,2010-02-03

[10]

处理衬底的方法和设备 [P].

R·J·奥东内尔 ;

T·W·安德森 .

中国专利 :CN100517585C ,2006-01-25

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