用于处理衬底表面的方法、系统和设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411009176.3

申请日：

2024-07-26

公开(公告)号：

CN119480617A

公开(公告)日：

2025-02-18

发明(设计)人：

汤福 E·希罗 M·吉文斯

申请人：

ASMIP私人控股有限公司

申请人地址：

荷兰阿尔梅勒

IPC主分类号：

H01L21/02

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

王冉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-18	公开	公开

共 50 条

[1]

用于处理衬底的表面的方法和装置 [P].

文森特·卡尔沃·阿隆索 ;

约科·朗 .

:CN120776276A ,2025-10-14

[2]

处理衬底表面的方法 [P].

F·德拉哈耶 .

中国专利 :CN101015037A ,2007-08-08

[3]

用于处理衬底表面的组合物、方法和装置 [P].

稻冈诚二 ;

W·J·小卡斯特尔 ;

R·N·弗蒂斯 ;

K·E·希尔多欧 ;

陈天牛 ;

M·R·布朗 .

中国专利 :CN107810261A ,2018-03-16

[4]

用于处理衬底表面的装置以及方法 [P].

T.格林斯纳 ;

R.霍尔茨莱特纳 ;

T.维泽 ;

F.施密德 .

中国专利 :CN103828032A ,2014-05-28

[5]

用于处理衬底表面的叶片模块 [P].

安吉秀 ;

张承逸 ;

崔钟春 .

中国专利 :CN102931119A ,2013-02-13

[6]

用于衬底的表面处理的方法和设备 [P].

M.温普林格 .

中国专利 :CN107078028A ,2017-08-18

[7]

用于保护多晶和衬底表面的集成方法 [P].

居建华 ;

魏莹璐 ;

何学缅 .

中国专利 :CN101488478B ,2009-07-22

[8]

用于保护多晶和衬底表面的集成方法 [P].

居建华 ;

魏莹璐 ;

何学缅 .

中国专利 :CN101488477A ,2009-07-22

[9]

用于衬底的表面处理的方法和设备 [P].

M.温普林格 .

中国专利 :CN111549328A ,2020-08-18

[10]

用于衬底的表面处理的方法和设备 [P].

M.温普林格 .

中国专利 :CN111549327A ,2020-08-18

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