用于处理衬底的表面的方法和装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510118840.6

申请日：

2025-01-24

公开(公告)号：

CN120776276A

公开(公告)日：

2025-10-14

发明(设计)人：

文森特·卡尔沃·阿隆索约科·朗

申请人：

康普泰克解决方案公司

申请人地址：

芬兰

IPC主分类号：

C23C16/455

IPC分类号：

C23C16/02 H01L21/02 H01L21/67 H01L21/677

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人：

徐祥娟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-14	公开	公开

共 50 条

[1]

用于处理衬底表面的组合物、方法和装置 [P].

稻冈诚二 ;

W·J·小卡斯特尔 ;

R·N·弗蒂斯 ;

K·E·希尔多欧 ;

陈天牛 ;

M·R·布朗 .

中国专利 :CN107810261A ,2018-03-16

[2]

用于处理衬底表面的装置以及方法 [P].

T.格林斯纳 ;

R.霍尔茨莱特纳 ;

T.维泽 ;

F.施密德 .

中国专利 :CN103828032A ,2014-05-28

[3]

用于处理衬底表面的方法、系统和设备 [P].

汤福 ;

E·希罗 ;

M·吉文斯 .

:CN119480617A ,2025-02-18

[4]

处理衬底表面的方法 [P].

F·德拉哈耶 .

中国专利 :CN101015037A ,2007-08-08

[5]

处理衬底表面的方法及装置 [P].

M.施米德鲍尔 ;

T.岑格 ;

F.施密德 ;

T.韦泽 ;

H.施特尔茨哈默 ;

M.特拉克斯多夫 .

中国专利 :CN105340073A ,2016-02-17

[6]

用于衬底表面处理的装置，设备和方法 [P].

H·卡普勒 .

中国专利 :CN101495242A ,2009-07-29

[7]

用于处理衬底表面的叶片模块 [P].

安吉秀 ;

张承逸 ;

崔钟春 .

中国专利 :CN102931119A ,2013-02-13

[8]

用于SiC衬底的表面处理设备和表面处理方法 [P].

青木一史 ;

丸野尚纪 ;

巴赫曼·苏丹尼 ;

加藤裕也 ;

高武恭平 ;

向田慎二 ;

富坂学 ;

石原康生 ;

中泽秀作 ;

山口哲司 .

中国专利 :CN115464546A ,2022-12-13

[9]

用于钝化衬底表面的方法 [P].

马丁·迪南·拜克尔 ;

布拉姆·霍克斯 ;

威廉默斯·马思艾斯·玛丽·凯塞尔斯 ;

毛里蒂乌斯·科内利斯·玛丽亚·范德桑登 .

中国专利 :CN101233621B ,2008-07-30

[10]

用于衬底的表面处理的方法和设备 [P].

M.温普林格 .

中国专利 :CN107078028A ,2017-08-18

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