用于对衬底进行平坦化的系统和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680030776.5

申请日：

2016-04-08

公开(公告)号：

CN107660277A

公开(公告)日：

2018-02-02

发明(设计)人：

安东·J·德维利耶

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F709

IPC分类号：

G03F718 G03F720 G03F730

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

杜诚;张维克

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-04-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/09 申请日:20160408
2020-12-29	授权	授权
2018-02-02	公开	公开

共 50 条

[1]

用于平坦衬底表面改性的方法和设备 [P].

康瑞德·卡尔腾贝克 ;

弗兰克·席恩利 ;

安德里亚·巴杜斯 ;

加桑·巴巴尔 .

中国专利 :CN101641162A ,2010-02-03

[2]

用于对蛋进行消毒的系统和方法 [P].

Z.格拉卡尔 ;

A.斯蒂芬 ;

D.纳塔雷利 .

中国专利 :CN111565565A ,2020-08-21

[3]

用于使用模块化单元对热解油进行去污的方法和系统 [P].

J·洛伊兰 ;

S·R·加朱拉 ;

S·K·让娜 ;

D·罗伊 ;

G·科里佩利 ;

亚历山大·斯坦尼斯洛斯 ;

拉维钱德尔·纳拉亚纳斯瓦米 ;

A·梅图 ;

M·K·斯里尼瓦斯 ;

A·K·高仕 ;

D·法默 .

:CN118251477A ,2024-06-25

[4]

用于对半导体衬底进行处理的方法和设备 [P].

克努特·比克曼 ;

盖伊·帕特里克·塔克 .

中国专利 :CN1302453A ,2001-07-04

[5]

用于对阀门进行测试的系统 [P].

简·格雷戈尔·霍伊达尔·索利 ;

艾伯特·安德烈·布尔 .

中国专利 :CN113167408A ,2021-07-23

[6]

平坦化膜的制造方法、平坦化膜用材料以及平坦化膜 [P].

千叶洋一 .

日本专利 :CN117355632A ,2024-01-05

[7]

用于对金属衬底进行耐腐蚀处理的水性试剂与涂布方法 [P].

托马斯·松德尔曼 ;

克里斯托夫·施特拉尔 ;

马蒂亚斯·金佩尔 ;

托马斯·洛斯塔克 .

中国专利 :CN104919085A ,2015-09-16

[8]

用于对绝缘塑料表面进行金属化的方法 [P].

莱奥纳斯·纳鲁斯克维丘什 ;

达纳斯·布迪洛夫斯基斯 ;

奥纳·吉列内 ;

洛雷塔·塔马绍斯凯特·塔马休奈特 .

中国专利 :CN104854216A ,2015-08-19

[9]

载体衬底和用于制造载体衬底的方法 [P].

斯特凡·布里廷 ;

马丁纳·施米勒 .

德国专利 :CN121220190A ,2025-12-26

[10]

用于对胺进行酰化的方法 [P].

M·宾德 ;

R·赫尔曼 ;

G·克瑙普 .

中国专利 :CN104768933A ,2015-07-08

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