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调节辉光放电质谱溅射的同心圆磁场装置及其使用方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411117392.X
申请日：
2024-08-14
公开(公告)号：
CN119028802A
公开(公告)日：
2024-11-26
发明(设计)人：
钱荣 张越 何成根 卓尚军 泮嘉玮 李显 盛成
申请人：
中国科学院上海硅酸盐研究所
申请人地址：
200050 上海市长宁区定西路1295号
IPC主分类号：
H01J49/20
IPC分类号：
H01J49/26 H01J49/04 G01N27/68 G01N35/10
代理机构：
上海硕力知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31251
代理人：
杨华廷
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
北京市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-12-13 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01J 49/20申请日:20240814
2024-11-26 公开 公开
2025-09-16 授权 授权
共 50 条
[1]
调节辉光放电质谱溅射的同心圆磁场装置及其使用方法 [P]. 
钱荣 ;
张越 ;
何成根 ;
卓尚军 ;
泮嘉玮 ;
李显 ;
盛成 .
中国专利 :CN119028802B ,2025-09-16
[2]
一种调控辉光放电质谱深度溅射的磁场装置及其方法 [P]. 
钱荣 ;
何成根 ;
曾旺 ;
张越 ;
刘安琦 ;
盛成 .
中国专利 :CN119852162A ,2025-04-18
[3]
一种调控辉光放电质谱深度溅射的磁场装置及其方法 [P]. 
钱荣 ;
何成根 ;
曾旺 ;
张越 ;
刘安琦 ;
盛成 .
中国专利 :CN119852162B ,2025-10-28
[4]
辉光放电系统以及使用其的辉光放电质谱装置 [P]. 
高桥孝广 .
中国专利 :CN109192649B ,2019-01-11
[5]
运用可调节磁场增强射频辉光放电质谱信号强度的装置及方法 [P]. 
钱荣 ;
卓尚军 ;
李中权 ;
高捷 .
中国专利 :CN108648981A ,2018-10-12
[6]
运用环形磁场增强射频辉光放电质谱离子信号强度的装置及方法 [P]. 
钱荣 ;
卓尚军 ;
董疆丽 ;
王群 .
中国专利 :CN108615668A ,2018-10-02
[7]
辉光放电质谱设备用陶瓷片的清洗方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
相原俊夫 ;
王学泽 ;
陈胜洁 .
中国专利 :CN108212912A ,2018-06-29
[8]
一种辉光放电质谱中镓的检测方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
边逸军 ;
王学泽 ;
周童 .
中国专利 :CN111638267A ,2020-09-08
[9]
一种辉光放电质谱中镓的检测方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
边逸军 ;
王学泽 ;
周童 .
中国专利 :CN111638267B ,2024-05-14
[10]
一种铌粉末的辉光放电质谱检测方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
叶科奇 ;
钟伟华 ;
石春红 .
中国专利 :CN115524390A ,2022-12-27
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