一种调控辉光放电质谱深度溅射的磁场装置及其方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202311338576.4
申请日
2023-10-16
公开(公告)号
CN119852162A
公开(公告)日
2025-04-18
发明(设计)人
钱荣 何成根 曾旺 张越 刘安琦 盛成
申请人
中国科学院上海硅酸盐研究所
申请人地址
200050 上海市长宁区定西路1295号
IPC主分类号
H01J49/20
IPC分类号
H01J49/26 H01J49/04
代理机构
上海硕力知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31251
代理人
周梦娜
法律状态
实质审查的生效
国省代码
北京市
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共 50 条
[1]
一种调控辉光放电质谱深度溅射的磁场装置及其方法 [P]. 
钱荣 ;
何成根 ;
曾旺 ;
张越 ;
刘安琦 ;
盛成 .
中国专利 :CN119852162B ,2025-10-28
[2]
调节辉光放电质谱溅射的同心圆磁场装置及其使用方法 [P]. 
钱荣 ;
张越 ;
何成根 ;
卓尚军 ;
泮嘉玮 ;
李显 ;
盛成 .
中国专利 :CN119028802B ,2025-09-16
[3]
调节辉光放电质谱溅射的同心圆磁场装置及其使用方法 [P]. 
钱荣 ;
张越 ;
何成根 ;
卓尚军 ;
泮嘉玮 ;
李显 ;
盛成 .
中国专利 :CN119028802A ,2024-11-26
[4]
辉光放电系统以及使用其的辉光放电质谱装置 [P]. 
高桥孝广 .
中国专利 :CN109192649B ,2019-01-11
[5]
一种辉光放电质谱中镓的检测方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
边逸军 ;
王学泽 ;
周童 .
中国专利 :CN111638267A ,2020-09-08
[6]
一种辉光放电质谱中镓的检测方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
边逸军 ;
王学泽 ;
周童 .
中国专利 :CN111638267B ,2024-05-14
[7]
一种铌粉末的辉光放电质谱检测方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
叶科奇 ;
钟伟华 ;
石春红 .
中国专利 :CN115524390A ,2022-12-27
[8]
一种钽粉末的辉光放电质谱检测方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
叶科奇 ;
钟伟华 ;
石春红 .
中国专利 :CN115436460A ,2022-12-06
[9]
一种辉光放电质谱用样品夹 [P]. 
姚力军 ;
边逸军 ;
潘杰 ;
王学泽 ;
温毅博 ;
钟伟华 .
中国专利 :CN212848303U ,2021-03-30
[10]
一种用于辉光放电质谱检测的制样方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
任聪聪 ;
钟伟华 ;
温毅博 .
中国专利 :CN119321935A ,2025-01-17