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一种调控辉光放电质谱深度溅射的磁场装置及其方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202311338576.4
申请日
:
2023-10-16
公开(公告)号
:
CN119852162A
公开(公告)日
:
2025-04-18
发明(设计)人
:
钱荣
何成根
曾旺
张越
刘安琦
盛成
申请人
:
中国科学院上海硅酸盐研究所
申请人地址
:
200050 上海市长宁区定西路1295号
IPC主分类号
:
H01J49/20
IPC分类号
:
H01J49/26
H01J49/04
代理机构
:
上海硕力知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31251
代理人
:
周梦娜
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
北京市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-05-06
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):H01J 49/20申请日:20231016
2025-04-18
公开
公开
2025-10-28
授权
授权
共 50 条
[1]
一种调控辉光放电质谱深度溅射的磁场装置及其方法
[P].
论文数:
引用数:
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机构:
钱荣
;
何成根
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机构:
中国科学院上海硅酸盐研究所
中国科学院上海硅酸盐研究所
何成根
;
曾旺
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机构:
中国科学院上海硅酸盐研究所
中国科学院上海硅酸盐研究所
曾旺
;
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机构:
张越
;
刘安琦
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机构:
中国科学院上海硅酸盐研究所
中国科学院上海硅酸盐研究所
刘安琦
;
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机构:
盛成
.
中国专利
:CN119852162B
,2025-10-28
[2]
调节辉光放电质谱溅射的同心圆磁场装置及其使用方法
[P].
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机构:
钱荣
;
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张越
;
何成根
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中国科学院上海硅酸盐研究所
中国科学院上海硅酸盐研究所
何成根
;
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机构:
卓尚军
;
泮嘉玮
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中国科学院上海硅酸盐研究所
中国科学院上海硅酸盐研究所
泮嘉玮
;
李显
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中国科学院上海硅酸盐研究所
中国科学院上海硅酸盐研究所
李显
;
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机构:
盛成
.
中国专利
:CN119028802B
,2025-09-16
[3]
调节辉光放电质谱溅射的同心圆磁场装置及其使用方法
[P].
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机构:
钱荣
;
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张越
;
何成根
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中国科学院上海硅酸盐研究所
中国科学院上海硅酸盐研究所
何成根
;
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卓尚军
;
泮嘉玮
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中国科学院上海硅酸盐研究所
中国科学院上海硅酸盐研究所
泮嘉玮
;
李显
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中国科学院上海硅酸盐研究所
中国科学院上海硅酸盐研究所
李显
;
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机构:
盛成
.
中国专利
:CN119028802A
,2024-11-26
[4]
辉光放电系统以及使用其的辉光放电质谱装置
[P].
高桥孝广
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高桥孝广
.
中国专利
:CN109192649B
,2019-01-11
[5]
一种辉光放电质谱中镓的检测方法
[P].
姚力军
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姚力军
;
潘杰
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潘杰
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边逸军
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边逸军
;
王学泽
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王学泽
;
周童
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周童
.
中国专利
:CN111638267A
,2020-09-08
[6]
一种辉光放电质谱中镓的检测方法
[P].
姚力军
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
姚力军
;
潘杰
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
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潘杰
;
边逸军
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宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
边逸军
;
王学泽
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
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王学泽
;
周童
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
周童
.
中国专利
:CN111638267B
,2024-05-14
[7]
一种铌粉末的辉光放电质谱检测方法
[P].
姚力军
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姚力军
;
潘杰
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潘杰
;
叶科奇
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叶科奇
;
钟伟华
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钟伟华
;
石春红
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石春红
.
中国专利
:CN115524390A
,2022-12-27
[8]
一种钽粉末的辉光放电质谱检测方法
[P].
姚力军
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姚力军
;
潘杰
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潘杰
;
叶科奇
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叶科奇
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钟伟华
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钟伟华
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石春红
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石春红
.
中国专利
:CN115436460A
,2022-12-06
[9]
一种辉光放电质谱用样品夹
[P].
姚力军
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姚力军
;
边逸军
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边逸军
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潘杰
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潘杰
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王学泽
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王学泽
;
温毅博
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温毅博
;
钟伟华
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钟伟华
.
中国专利
:CN212848303U
,2021-03-30
[10]
一种用于辉光放电质谱检测的制样方法
[P].
姚力军
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
姚力军
;
潘杰
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
潘杰
;
任聪聪
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
任聪聪
;
钟伟华
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
钟伟华
;
温毅博
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
温毅博
.
中国专利
:CN119321935A
,2025-01-17
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