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一种旋转磨粒流抛光液及其制备方法和应用
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202411076771.9
申请日
:
2024-08-07
公开(公告)号
:
CN118996424A
公开(公告)日
:
2024-11-22
发明(设计)人
:
王奔
徐仁杰
宋畅
尹宏刚
张棋
申请人
:
沈阳航空航天大学
申请人地址
:
110136 辽宁省沈阳市道义经济开发区道义南大街37号
IPC主分类号
:
C23F3/04
IPC分类号
:
C09G1/02
代理机构
:
沈阳东大知识产权代理有限公司 21109
代理人
:
吴琼
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
辽宁省 沈阳市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2024-12-10
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):C23F 3/04申请日:20240807
2024-11-22
公开
公开
共 50 条
[1]
抛光液及其制备方法和应用
[P].
程好
论文数:
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程好
;
高永超
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高永超
;
杨淑平
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杨淑平
;
庄维伟
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庄维伟
;
张国栋
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张国栋
;
蔡渊
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蔡渊
.
中国专利
:CN103923571B
,2014-07-16
[2]
一种抛光液及其制备方法和应用
[P].
金炳生
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金炳生
;
高小云
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高小云
;
刘兵
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刘兵
.
中国专利
:CN107936849B
,2018-04-20
[3]
抛光液、制备方法、应用和抛光工艺
[P].
殷达
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机构:
深圳市众望丽华微电子材料有限公司
深圳市众望丽华微电子材料有限公司
殷达
;
关飞飞
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机构:
深圳市众望丽华微电子材料有限公司
深圳市众望丽华微电子材料有限公司
关飞飞
;
孙健
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机构:
深圳市众望丽华微电子材料有限公司
深圳市众望丽华微电子材料有限公司
孙健
.
中国专利
:CN119775904A
,2025-04-08
[4]
一种新型抛光液及其制备方法和应用
[P].
康劲
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康劲
;
刘玉岭
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刘玉岭
;
贾会静
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贾会静
;
罗翀
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罗翀
;
刘启旭
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刘启旭
;
张月
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张月
;
王强
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王强
.
中国专利
:CN115058198A
,2022-09-16
[5]
一种复合磨粒抛光液及其制备方法
[P].
许向阳
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许向阳
;
戴磊
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戴磊
;
龚海明
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龚海明
.
中国专利
:CN109880533B
,2019-06-14
[6]
一种抛光液及其制备方法和应用
[P].
张延红
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机构:
维达力科技股份有限公司
维达力科技股份有限公司
张延红
;
陈杰
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机构:
维达力科技股份有限公司
维达力科技股份有限公司
陈杰
.
中国专利
:CN120290106A
,2025-07-11
[7]
一种抛光液及其制备方法
[P].
孙韬
论文数:
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孙韬
.
中国专利
:CN108822739A
,2018-11-16
[8]
一种无味氮化铝抛光液及其制备方法和应用
[P].
钟培杰
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0
钟培杰
.
中国专利
:CN114672252A
,2022-06-28
[9]
一种高稳定高效抛光液及其制备方法和应用
[P].
左海珍
论文数:
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左海珍
.
中国专利
:CN109971362B
,2019-07-05
[10]
微小孔磨粒流抛光液及其制备方法
[P].
刘薇娜
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刘薇娜
;
杨立峰
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杨立峰
;
李俊烨
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李俊烨
;
刘志刚
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刘志刚
;
赵磊
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赵磊
.
中国专利
:CN102241946A
,2011-11-16
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