一种晶体生长工艺、晶体生长用气氛控制系统及控制方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202411258675.6
申请日
2024-09-09
公开(公告)号
CN119041013A
公开(公告)日
2024-11-29
发明(设计)人
陈鹏飞 杨倩倩 李汶烩
申请人
苏州清研半导体科技有限公司
申请人地址
215100 江苏省苏州市吴中区甪直镇东方大道268号中科半导体产业社区A幢802-803室、B幢1-2层
IPC主分类号
C30B23/00
IPC分类号
C30B29/36
代理机构
苏州尚为知识产权代理事务所(普通合伙) 32483
代理人
印丹
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
晶体生长用双层坩埚及晶体生长工艺 [P]. 
赵有文 ;
段满龙 .
中国专利 :CN109576777A ,2019-04-05
[2]
晶体生长工艺、晶体生长炉 [P]. 
于旭东 ;
盛建明 ;
胡董成 .
中国专利 :CN102732944A ,2012-10-17
[3]
稀土晶体生长设备、稀土晶体生长工艺及应用 [P]. 
薛冬峰 ;
孙丛婷 .
中国专利 :CN106757317A ,2017-05-31
[4]
基于VGF法晶体生长用石英封帽、晶体生长装置及晶体生长工艺 [P]. 
赵有文 ;
沈桂英 ;
段满龙 ;
杨俊 ;
卢伟 ;
刘鹏 .
中国专利 :CN110952133B ,2024-08-06
[5]
反馈晶体生长状态的方法、晶体生长控制方法及控制系统 [P]. 
朱允中 ;
王彪 ;
林少鹏 ;
马德才 .
中国专利 :CN106801250B ,2017-06-06
[6]
稀土晶体生长设备、稀土晶体生长工艺及应用 [P]. 
薛冬峰 ;
孙丛婷 .
中国专利 :CN106757349A ,2017-05-31
[7]
基于VGF法晶体生长用石英封帽、晶体生长装置及晶体生长工艺 [P]. 
赵有文 ;
沈桂英 ;
段满龙 ;
杨俊 ;
卢伟 ;
刘鹏 .
中国专利 :CN110952133A ,2020-04-03
[8]
晶体生长装置的控制系统和晶体生长装置 [P]. 
陈翼 ;
刘奇 ;
黄末 ;
冯参 ;
冯厚坤 .
中国专利 :CN214060710U ,2021-08-27
[9]
多晶铸锭晶体生长工艺 [P]. 
李会吴 ;
周基江 ;
陈方芳 .
中国专利 :CN101974780A ,2011-02-16
[10]
蓝宝石晶体生长工艺 [P]. 
付秀辉 ;
丁军辉 ;
林太顺 .
中国专利 :CN113564694A ,2021-10-29