共 50 条
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基板保持装置、露光装置、及び物品の製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20230074207
申请日：
2023-04-28
公开(公告)号：
JP2024158730A
公开(公告)日：
2024-11-08
发明(设计)人：
KANEKO SHINYA
HOSOKAWA HIRONOBU
申请人：
CANON KK
申请人地址：
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
H01L21/683
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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