缺陷检测扫描程式建立方法及缺陷检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411011796.0

申请日：

2024-07-25

公开(公告)号：

CN118943038A

公开(公告)日：

2024-11-12

发明(设计)人：

王书杰刘维丹陈莲李帆唐雪袁纯真

申请人：

上海积塔半导体有限公司

申请人地址：

201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区云水路600号

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

G06T7/00 G01N21/95

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

贺妮妮

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-29	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20240725
2024-11-12	公开	公开

共 50 条

[1]

缺陷检测模型建立方法、装置、设备及缺陷检测方法 [P].

李自清 ;

曹欢 ;

徐东东 ;

胡周 .

中国专利 :CN120976225A ,2025-11-18

[2]

路面缺陷检测模型建立方法、路面缺陷检测方法及系统 [P].

林涛 ;

陈振武 ;

张枭勇 ;

刘宇鸣 ;

张炳振 ;

赵欢 .

中国专利 :CN112906575B ,2024-11-26

[3]

路面缺陷检测模型建立方法、路面缺陷检测方法及系统 [P].

林涛 ;

陈振武 ;

张枭勇 ;

刘宇鸣 ;

张炳振 ;

赵欢 .

中国专利 :CN112906575A ,2021-06-04

[4]

伪缺陷库建立方法、缺陷检测方法、设备及存储介质 [P].

徐佐 ;

朱志华 ;

王佶 ;

熊海飞 .

中国专利 :CN114511570A ,2022-05-17

[5]

缺陷检测装置、缺陷检测系统及缺陷检测方法 [P].

梅红伟 ;

涂彦昕 ;

胡伟 ;

刘健犇 ;

刘立帅 ;

王黎明 .

中国专利 :CN110031511B ,2019-07-19

[6]

缺陷检测装置、缺陷检测系统及缺陷检测方法 [P].

张勤 ;

付翔宇 ;

李国军 .

中国专利 :CN117949458A ,2024-04-30

[7]

缺陷检测方法及缺陷检测系统 [P].

孟阳 ;

王伟斌 .

中国专利 :CN112444526A ,2021-03-05

[8]

缺陷检测方法及缺陷检测设备 [P].

习征东 ;

李圭铉 ;

刘超强 ;

王建宏 ;

王金顺 .

中国专利 :CN108387587A ,2018-08-10

[9]

缺陷检测系统及缺陷检测方法 [P].

中野拓巳 .

中国专利 :CN103635169A ,2014-03-12

[10]

缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

久利龙平 .

中国专利 :CN111323423A ,2020-06-23

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