一种化学机械抛光平坦化晶圆传输设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420702533.3

申请日：

2024-04-08

公开(公告)号：

CN222038114U

公开(公告)日：

2024-11-22

发明(设计)人：

张跃锋

申请人：

张跃锋

申请人地址：

200120 上海市浦东新区机场镇滨海四村韩家宅9号

IPC主分类号：

B24B37/34

IPC分类号：

代理机构：

安徽智鼎华诚专利代理事务所(普通合伙) 34242

代理人：

王婷

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-22	授权	授权

共 50 条

[1]

一种化学机械抛光平坦化晶圆传输设备 [P].

李苍 ;

顾静然 .

中国专利 :CN210435942U ,2020-05-01

[2]

晶圆化学机械抛光设备和晶圆化学机械抛光方法 [P].

具滋贤 .

中国专利 :CN120480796A ,2025-08-15

[3]

化学机械抛光设备及晶圆传输方法 [P].

路新春 ;

王同庆 ;

夏佳琪 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120170631B ,2025-08-19

[4]

化学机械抛光设备及晶圆传输方法 [P].

路新春 ;

王同庆 ;

夏佳琪 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120941268A ,2025-11-14

[5]

化学机械抛光设备及晶圆传输方法 [P].

路新春 ;

王同庆 ;

夏佳琪 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120170631A ,2025-06-20

[6]

化学机械抛光设备及晶圆传输方法 [P].

路新春 ;

王同庆 ;

夏佳琪 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120941269A ,2025-11-14

[7]

晶圆化学机械抛光设备 [P].

具滋贤 ;

申弘植 .

中国专利 :CN120588103A ,2025-09-05

[8]

用于化学机械抛光的晶圆承载装置和化学机械抛光设备 [P].

王春龙 ;

许振杰 .

中国专利 :CN213828498U ,2021-07-30

[9]

一种化学机械抛光及平坦化系统 [P].

顾海洋 ;

邓耀敏 ;

郑晟良 .

中国专利 :CN222589301U ,2025-03-11

[10]

晶圆抛光装置及化学机械抛光设备 [P].

路新春 ;

徐海洋 ;

李洪阳 .

中国专利 :CN117506709A ,2024-02-06

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