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检查装置以及检查方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280090513.9
申请日：
2022-11-29
公开(公告)号：
CN118891514A
公开(公告)日：
2024-11-01
发明(设计)人：
塚本健夫
申请人：
佳能安内华股份有限公司
申请人地址：
日本
IPC主分类号：
G01N23/223
IPC分类号：
G01N23/04 G01N23/2206
代理机构：
中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038
代理人：
郑瑾
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-11-01 公开 公开
2024-11-19 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01N 23/223申请日:20221129
共 50 条
[1]
检查装置以及检查方法 [P]. 
塚本健夫 .
日本专利 :CN118661094A ,2024-09-17
[2]
检查装置以及检查方法 [P]. 
塚本健夫 .
日本专利 :CN118661093A ,2024-09-17
[3]
检查装置以及检查方法 [P]. 
冢本健夫 .
日本专利 :CN118901003A ,2024-11-05
[4]
TFT基板检查装置以及TFT基板检查方法 [P]. 
今井大辅 .
中国专利 :CN102667507A ,2012-09-12
[5]
检查方法、检查装置以及检查用程序 [P]. 
太田佳秀 ;
加藤训之 .
中国专利 :CN101776618A ,2010-07-14
[6]
检查装置以及检查方法 [P]. 
龟田明 ;
片山敦 ;
浜田隆二 .
中国专利 :CN101809403A ,2010-08-18
[7]
检查装置以及检查方法 [P]. 
今川太郎 ;
野田晃浩 ;
丸山悠树 ;
日下博也 .
中国专利 :CN112352148A ,2021-02-09
[8]
检查装置以及检查方法 [P]. 
三宅康志 .
中国专利 :CN113533908A ,2021-10-22
[9]
检查装置以及检查方法 [P]. 
佐佐木骏辅 ;
小森太阳 ;
笹冈嘉一 .
日本专利 :CN119104828A ,2024-12-10
[10]
检查装置以及检查方法 [P]. 
船曵洋平 .
日本专利 :CN117819343A ,2024-04-05
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