インジウムガリウム亜鉛酸化物のエッチング[ja]

被引：0

申请号：

JP20230556915

申请日：

2022-03-15

公开(公告)号：

JP2024510255A

公开(公告)日：

2024-03-06

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IPC主分类号：

H01L21/3065

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共 50 条

[1]

インジウムとガリウムおよび酸素、またはインジウムとガリウムと亜鉛および酸素からなる酸化物のエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JP6044337B2 ,2016-12-14

[2]

少なくともインジウム、ガリウム、亜鉛およびシリコンを含む酸化物のエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JP6350008B2 ,2018-07-04

[3]

インジウム・ガリウム・亜鉛酸化物材料のための分子前駆体化合物[ja] [P].

日本专利 :JP2017514885A ,2017-06-08

[4]

ガリウム・インジウム複合酸化物粉末[ja] [P].

日本专利 :JP5925535B2 ,2016-05-25

[5]

酸化インジウム−酸化亜鉛系（ＩＺＯ）スパッタリングターゲット[ja] [P].

日本专利 :JP6125689B1 ,2017-05-10

[6]

リチウム鉄マンガン系複合酸化物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2017119411A1 ,2018-10-25

[7]

リチウムマンガン複合酸化物、リチウム二次電池及びリチウムマンガン複合酸化物の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP7193315B2 ,2022-12-20

[8]

リチウムチタン混合酸化物[ja] [P].

日本专利 :JP6207400B2 ,2017-10-04

[9]

インジウム錫酸化物粉末[ja] [P].

日本专利 :JP5754580B2 ,2015-07-29

[10]

リチウムランタンジルコニウム酸化物（ＬＬＺＯ）粉末[ja] [P].

日本专利 :JP7607586B2 ,2024-12-27

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