少なくともインジウム、ガリウム、亜鉛およびシリコンを含む酸化物のエッチング液およびエッチング方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20140127431

申请日：

2014-06-20

公开(公告)号：

JP6350008B2

公开(公告)日：

2018-07-04

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/308

IPC分类号：

H01L21/336 H01L29/786

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共 50 条

[1]

インジウムとガリウムおよび酸素、またはインジウムとガリウムと亜鉛および酸素からなる酸化物のエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JP6044337B2 ,2016-12-14

[2]

インジウムガリウム亜鉛酸化物のエッチング[ja] [P].

日本专利 :JP2024510255A ,2024-03-06

[3]

シリコンエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009136558A1 ,2011-09-08

[4]

シリコンエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2011040484A1 ,2013-02-28

[5]

亜鉛とスズを含む酸化物のエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015104962A1 ,2017-03-23

[6]

亜鉛とスズを含む酸化物のエッチング液およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JP6384490B2 ,2018-09-05

[7]

インジウムと亜鉛とスズおよび酸素からなる酸化物のエッチング用液体組成物およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2015122250A1 ,2017-03-30

[8]

インジウムと亜鉛とスズおよび酸素からなる酸化物のエッチング用液体組成物およびエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JP6402725B2 ,2018-10-10

[9]

シリコン酸化物のエッチング方法及びエッチング装置[ja] [P].

日本专利 :JP7545088B2 ,2024-09-04

[10]

シリコン酸化物のエッチング方法及びエッチング装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2020054476A1 ,2020-10-22

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