一种金属氧化物材料刻蚀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310470245.X

申请日：

2023-04-27

公开(公告)号：

CN118866677A

公开(公告)日：

2024-10-29

发明(设计)人：

郭春祥彭泰彦任华许开东

申请人：

江苏鲁汶仪器股份有限公司

申请人地址：

221300 江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河西路8号

IPC主分类号：

H01L21/311

IPC分类号：

H10B51/30

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

韩丽波

法律状态：

公开

国省代码：

河北省衡水市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-29	公开	公开
2024-11-15	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/311申请日:20230427

共 50 条

[1]

金属氧化物原子层刻蚀 [P].

安德烈亚斯·费希尔 ;

尼莉莎·德雷格 .

美国专利 :CN111149194B ,2024-08-06

[2]

金属氧化物原子层刻蚀 [P].

安德烈亚斯·费希尔 ;

尼莉莎·德雷格 .

中国专利 :CN111149194A ,2020-05-12

[3]

沉积金属氧化物材料的方法 [P].

J·毛拉 ;

K·哈克内 .

中国专利 :CN101688300B ,2010-03-31

[4]

金属氧化物材料的制备方法、金属氧化物材料与光电器件 [P].

谢傲臻 ;

庄佳庆 ;

刘海坤 .

中国专利 :CN121085312A ,2025-12-09

[5]

选择性金属/金属氧化物刻蚀方法 [P].

P·韦尔默朗 ;

C·艾伦 .

中国专利 :CN105899713B ,2016-08-24

[6]

一种金属氧化物材料的制备方法 [P].

金鹏飞 ;

孙延玉 ;

傅巍 ;

刘洋 ;

程振乾 ;

刘玺 ;

王洋洋 ;

任先武 ;

祁欣 ;

周明军 .

中国专利 :CN105540550A ,2016-05-04

[7]

多金属氧化物材料 [P].

F·博格迈尔 ;

M·迪特勒 ;

H·希布什特 .

中国专利 :CN1313440C ,2005-12-07

[8]

多金属氧化物材料 [P].

A·田滕 ;

F·G·马丁 ;

H·希布斯特 ;

L·马罗西 ;

V·科尔 .

中国专利 :CN1109800A ,1995-10-11

[9]

多金属氧化物材料 [P].

H·海伯斯特 ;

S·昂瓦瑞切特 .

中国专利 :CN1112969C ,2001-05-16

[10]

多金属氧化物材料 [P].

H·加乔 .

中国专利 :CN1288445A ,2001-03-21

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