一种晶圆蒸镀载盘

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323223126.9

申请日：

2023-11-28

公开(公告)号：

CN221918206U

公开(公告)日：

2024-10-29

发明(设计)人：

蔡涛陈景超钟伟吕守贵郭磊董国庆文国昇金从龙

申请人：

江西兆驰半导体有限公司

申请人地址：

330000 江西省南昌市高新技术产业开发区天祥北大道1717号

IPC主分类号：

C23C14/50

IPC分类号：

代理机构：

南昌旭瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 36150

代理人：

彭琰

法律状态：

授权

国省代码：

河北省保定市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆蒸镀装置 [P].

白兴军 ;

肖秀光 .

中国专利 :CN209243158U ,2019-08-13

[2]

一种晶圆蒸镀伞架 [P].

余兆全 ;

林志东 .

中国专利 :CN212230406U ,2020-12-25

[3]

晶圆载盘 [P].

卢彦勋 ;

陈彦良 ;

大藤彻 ;

谢明达 .

中国专利 :CN209194058U ,2019-08-02

[4]

一种晶圆夹具及晶圆蒸镀设备 [P].

秦海波 .

中国专利 :CN210193990U ,2020-03-27

[5]

一种晶圆载盘 [P].

刘仁杰 ;

伍三忠 ;

胡承 ;

苏凯 .

中国专利 :CN214753672U ,2021-11-16

[6]

一种晶圆载盘 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221379317U ,2024-07-19

[7]

一种晶圆载盘 [P].

刘发江 ;

游泽瑜 .

中国专利 :CN221262345U ,2024-07-02

[8]

一种晶圆载盘 [P].

黄浚哲 ;

龚吴昕 ;

夏晓燕 ;

翟颖 ;

刘兆 .

中国专利 :CN221226198U ,2024-06-25

[9]

晶圆盖板压环、金属蒸镀载片盘及金属蒸镀机台 [P].

刘行 .

中国专利 :CN222948458U ,2025-06-06

[10]

一种晶圆载盘载具 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221687501U ,2024-09-10

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