一种晶圆夹具及晶圆蒸镀设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920933994.0

申请日：

2019-06-20

公开(公告)号：

CN210193990U

公开(公告)日：

2020-03-27

发明(设计)人：

秦海波

申请人：

申请人地址：

401331 重庆市沙坪坝区西永镇西永路367号四楼

IPC主分类号：

C23C1450

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-27	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆托盘及晶圆片溅镀设备 [P].

洪俊 .

中国专利 :CN217459578U ,2022-09-20

[2]

晶圆工装夹具及晶圆加工设备 [P].

周旭 ;

胡梅 ;

袁龙翔 .

中国专利 :CN222051737U ,2024-11-22

[3]

一种晶圆蒸镀装置 [P].

白兴军 ;

肖秀光 .

中国专利 :CN209243158U ,2019-08-13

[4]

一种晶圆蒸镀伞架 [P].

余兆全 ;

林志东 .

中国专利 :CN212230406U ,2020-12-25

[5]

一种晶圆蒸镀载盘 [P].

蔡涛 ;

陈景超 ;

钟伟 ;

吕守贵 ;

郭磊 ;

董国庆 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN221918206U ,2024-10-29

[6]

晶圆托盘定位结构及晶圆片溅镀设备 [P].

洪俊 .

中国专利 :CN217387116U ,2022-09-06

[7]

晶圆夹具 [P].

史蒂文·贺·汪 ;

林鹏鹏 .

中国专利 :CN214226899U ,2021-09-17

[8]

晶圆夹具 [P].

赵炳贵 ;

陈新来 .

中国专利 :CN207800578U ,2018-08-31

[9]

晶圆夹具 [P].

廉哲 ;

马飞 ;

周斌 ;

徐鹏嵩 ;

郭孝明 .

中国专利 :CN220671494U ,2024-03-26

[10]

晶圆夹具 [P].

缪凯 .

中国专利 :CN223123888U ,2025-07-18

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