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一种硅片工作台及固晶机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322874958.0
申请日：
2023-10-25
公开(公告)号：
CN222261013U
公开(公告)日：
2024-12-27
发明(设计)人：
邹光华
魏如
申请人：
深圳市琛海宇半导体科技有限公司
申请人地址：
518110 广东省深圳市龙华区观澜街道君子布社区环观南路10号D803A区
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/67
H05K13/04
代理机构：
深圳维启专利代理有限公司 44827
代理人：
盛天亮
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-27 | 授权 | 授权 |