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一种集成电路生产加工设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411341362.7
申请日：
2024-09-25
公开(公告)号：
CN119208205A
公开(公告)日：
2024-12-27
发明(设计)人：
庄双双
张生桃
申请人：
苏州伯格纳华新能源科技有限公司
申请人地址：
215100 江苏省苏州市相城区元和街道聚茂街185号活力商务广场A栋
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/687
B08B1/16
B08B1/30
B08B15/00
代理机构：
安徽谷知知识产权代理事务所(普通合伙) 34286
代理人：
谈云勇
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-27 | 公开 | 公开 |
| 2025-08-22 | 授权 | 授权 |
| 2025-01-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20240925 |