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用于结构和相关联设备的检查方法和设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980068958.5
申请日：
2019-09-25
公开(公告)号：
CN112867970B
公开(公告)日：
2024-12-27
发明(设计)人：
E·巴德尔
S·夏卡瓦米拉特
G·米瑟立
A·维尔马
申请人：
ASML荷兰有限公司
申请人地址：
荷兰维德霍温
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
王益
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-27 | 授权 | 授权 |