曝光装置、曝光方法以及物品制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410725355.0

申请日：

2024-06-06

公开(公告)号：

CN119126509A

公开(公告)日：

2024-12-13

发明(设计)人：

早川崇志今井政树宫春隆文

申请人：

佳能株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

G03F9/00

IPC分类号：

G03F7/20 H05K3/06

代理机构：

中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038

代理人：

孙蕾

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-13	公开	公开
2025-06-27	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 9/00申请日:20240606

共 50 条

[1]

曝光装置、曝光方法以及物品制造方法 [P].

今井政树 ;

金石守 .

日本专利 :CN117590700A ,2024-02-23

[2]

曝光装置、曝光方法以及物品制造方法 [P].

平井真一郎 ;

本岛顺一 ;

大川直人 .

中国专利 :CN107450279A ,2017-12-08

[3]

曝光装置、曝光方法以及物品制造方法 [P].

川岛春名 ;

大阪昇 .

中国专利 :CN107621754A ,2018-01-23

[4]

曝光装置、曝光方法以及物品制造方法 [P].

大野文靖 .

中国专利 :CN107783383B ,2018-03-09

[5]

曝光装置、曝光方法、以及物品制造方法 [P].

赤松昭郎 .

日本专利 :CN114442445B ,2025-10-28

[6]

曝光装置、曝光方法、以及物品制造方法 [P].

赤松昭郎 .

中国专利 :CN114442445A ,2022-05-06

[7]

曝光方法、曝光装置以及物品制造方法 [P].

永井善之 ;

籔伸彦 .

中国专利 :CN110888303A ,2020-03-17

[8]

曝光装置、曝光方法以及物品制造方法 [P].

栗田裕介 ;

铃木佑 ;

边见和大 .

日本专利 :CN119065199A ,2024-12-03

[9]

曝光方法、曝光装置以及物品制造方法 [P].

水谷将树 .

日本专利 :CN119335819A ,2025-01-21

[10]

曝光装置、曝光方法以及物品的制造方法 [P].

八讲学 .

中国专利 :CN113721427A ,2021-11-30

← 1 2 3 4 5 →