具有除湿装置的前开式晶圆盒

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420907810.4

申请日：

2024-04-28

公开(公告)号：

CN222190657U

公开(公告)日：

2024-12-17

发明(设计)人：

杨立华陆昕宇陈立钧荆泉

申请人：

上海华力微电子有限公司

申请人地址：

201314 上海市浦东新区良腾路6号

IPC主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

B01D53/28

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

尤彩红

法律状态：

授权

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-17	授权	授权

共 50 条

[1]

前开式晶圆传送盒 [P].

李闯 ;

喻成虎 ;

袁继超 .

中国专利 :CN216054613U ,2022-03-15

[2]

晶圆限制模块和前开式晶圆盒 [P].

李希 .

中国专利 :CN203774270U ,2014-08-13

[3]

前开式晶圆传输盒及晶圆传送系统 [P].

曾德强 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208111412U ,2018-11-16

[4]

全自动前开式晶圆运输盒包装装置 [P].

王迪杏 ;

计时鸣 ;

王宁 ;

蒋伟 ;

王金裕 ;

沈佳敏 ;

张阳 .

中国专利 :CN214356929U ,2021-10-08

[5]

适用于Taiko晶圆的前开式晶圆传送盒 [P].

陆锡坚 ;

张纯 .

中国专利 :CN215514686U ,2022-01-14

[6]

一种前开式晶圆传送盒 [P].

王征 .

中国专利 :CN222355094U ,2025-01-14

[7]

一种前开式晶圆传送盒 [P].

王征 .

中国专利 :CN222562644U ,2025-03-04

[8]

一种前开式晶圆传送盒的抓取装置 [P].

黎明 .

中国专利 :CN217891000U ,2022-11-25

[9]

全自动前开式晶圆运输盒包装装置 [P].

王迪杏 ;

计时鸣 ;

王宁 ;

蒋伟 ;

王金裕 ;

沈佳敏 ;

张阳 .

中国专利 :CN112455784A ,2021-03-09

[10]

一种开启前开式晶圆盒的工具 [P].

吴良辉 .

中国专利 :CN204760361U ,2015-11-11

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