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半导体制冷器晶粒清洗装置、方法、电子设备及存储介质
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410036066.X
申请日：
2024-01-10
公开(公告)号：
CN117790374B
公开(公告)日：
2024-12-20
发明(设计)人：
王佳琪
陆建辉
申请人：
铋盛半导体（深圳）有限公司
申请人地址：
518100 广东省深圳市光明区玉塘街道玉律社区光侨大道1008号裕丰达工业园3栋301
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
B08B3/04
B08B3/12
B08B13/00
H01L21/677
H01L21/02
代理机构：
华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
黄鸿华
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-29 | 公开 | 公开 |
| 2024-04-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20240110 |
| 2024-12-20 | 授权 | 授权 |