单晶生长方法、控制装置和单晶生长装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202411519832.4
申请日
2024-10-28
公开(公告)号
CN119392352A
公开(公告)日
2025-02-07
发明(设计)人
赵言 冯睿超 金光勋
申请人
上海新昇半导体科技有限公司
申请人地址
201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区云水路1000号
IPC主分类号
C30B15/00
IPC分类号
C30B15/20 C30B29/06
代理机构
北京磐华捷成知识产权代理有限公司 11851
代理人
李丽敏
法律状态
实质审查的生效
国省代码
上海市
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共 50 条
[1]
单晶生长方法及单晶生长装置 [P]. 
阿部孝夫 ;
山田透 .
中国专利 :CN1265030C ,2003-03-26
[2]
一种单晶生长装置和单晶生长方法 [P]. 
蔡金荣 ;
陈建明 ;
赵文超 ;
杨洪雨 ;
范子龙 .
中国专利 :CN117779179A ,2024-03-29
[3]
一种单晶生长装置和单晶生长方法 [P]. 
蔡金荣 ;
陈建明 ;
赵文超 ;
杨洪雨 ;
范子龙 .
中国专利 :CN117779179B ,2024-06-07
[4]
单晶生长用坩埚和单晶生长方法 [P]. 
藤川阳平 .
中国专利 :CN110878422A ,2020-03-13
[5]
单晶生长方法及生长装置 [P]. 
冈本勉 ;
田附幸一 ;
久保田重夫 .
中国专利 :CN1227287A ,1999-09-01
[6]
氧化镓单晶生长方法及单晶生长装置 [P]. 
裵示永 ;
郑盛民 ;
辛胤沚 ;
具泰勋 ;
申阿兰 .
韩国专利 :CN119956489A ,2025-05-09
[7]
单晶生长方法及单晶生长设备 [P]. 
赵言 ;
张楠 ;
沈伟民 ;
黄瀚艺 .
中国专利 :CN112323141A ,2021-02-05
[8]
单晶生长设备及单晶生长方法 [P]. 
郭鸿震 .
中国专利 :CN114606564A ,2022-06-10
[9]
单晶生长方法 [P]. 
田口裕章 ;
热海贵 ;
降屋久 ;
喜田道夫 .
中国专利 :CN1134559C ,1997-10-01
[10]
单晶生长方法 [P]. 
关岛雄德 ;
藤井高志 ;
胁野喜久男 ;
冈田正胜 .
中国专利 :CN1139678C ,1998-11-04