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射频电源系统及半导体工艺设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202323301542.6
申请日：
2023-12-05
公开(公告)号：
CN222421872U
公开(公告)日：
2025-01-28
发明(设计)人：
林桂浩
唐亚海
谢幸光
乐卫平
申请人：
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
申请人地址：
518102 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101,201,301
IPC主分类号：
H01J37/32
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
北京惟盛达知识产权代理有限公司 11855
代理人：
何卓坚
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-01-28 | 授权 | 授权 |