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射频电源控制系统、方法及半导体工艺设备

被引：0
申请号：
CN202111389200.7
申请日：
2021-11-22
公开(公告)号：
CN114300333A
公开(公告)日：
2022-04-08
发明(设计)人：
乐中天 郭春 孙运东
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
北京思创毕升专利事务所 11218
代理人：
孙向民;廉莉莉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-04-08 公开 公开
共 50 条
[1]
射频电源控制系统、方法及半导体工艺设备 [P]. 
乐中天 ;
郭春 ;
孙运东 .
中国专利 :CN114300333B ,2024-01-05
[2]
射频电源系统及半导体工艺设备 [P]. 
林桂浩 ;
唐亚海 ;
谢幸光 ;
乐卫平 .
中国专利 :CN222421872U ,2025-01-28
[3]
射频电源装置及半导体工艺设备 [P]. 
翟毅豪 ;
鲁艳成 .
中国专利 :CN115377825A ,2022-11-22
[4]
射频电源及半导体工艺设备 [P]. 
尹萍 .
中国专利 :CN223246555U ,2025-08-19
[5]
射频电源的控制方法、装置、射频电源及半导体工艺设备 [P]. 
李跃鹏 .
中国专利 :CN120034177A ,2025-05-23
[6]
半导体工艺设备及半导体工艺设备的控制方法 [P]. 
李雷 .
中国专利 :CN113176945A ,2021-07-27
[7]
射频电源的功率调节方法及半导体工艺设备 [P]. 
李佩贞 ;
于树泉 ;
张璐 .
中国专利 :CN119650395A ,2025-03-18
[8]
半导体工艺设备控制方法及半导体工艺设备 [P]. 
李华鋆 ;
荣志伟 .
中国专利 :CN120967287A ,2025-11-18
[9]
一种射频电源及半导体工艺设备 [P]. 
乔世波 ;
陈凯 .
中国专利 :CN120686579A ,2025-09-23
[10]
功率合成电路、射频电路、射频电源及半导体工艺设备 [P]. 
陈凯 ;
李光健 ;
李金良 ;
张永东 ;
乔世波 ;
王敬杨 .
中国专利 :CN121239159A ,2025-12-30
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