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四探针测量仪、四探针测量系统及四探针测量仪测量待测晶圆的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510007147.1
申请日：
2025-01-03
公开(公告)号：
CN119414212A
公开(公告)日：
2025-02-11
发明(设计)人：
施朱斌
刘相华
申请人：
麦峤里（上海）半导体科技有限责任公司
申请人地址：
201210 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区祖冲之路2305号B幢12层（产证楼层为11层）1203工位
IPC主分类号：
G01R31/28
IPC分类号：
G01R1/073
G01R27/08
代理机构：
上海塔科专利代理事务所(普通合伙) 31380
代理人：
李韶娟
法律状态：
授权
国省代码：
上海市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-06-03 | 授权 | 授权 |
| 2025-02-11 | 公开 | 公开 |
| 2025-02-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G01R 31/28申请日:20250103 |