晶圆盒传输系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420392043.8

申请日：

2024-02-29

公开(公告)号：

CN222472516U

公开(公告)日：

2025-02-14

发明(设计)人：

朱玉东何海龙韩磊姚东东

申请人：

中科芯微智能装备（沈阳）有限公司

申请人地址：

110000 辽宁省沈阳市经济技术开发区十三号路77-38-B号

IPC主分类号：

B25J9/16

IPC分类号：

H01L21/677

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

黄海霞

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-14	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆盒的传输系统 [P].

严逸锋 ;

许世龙 ;

邓国星 ;

董正雄 .

中国专利 :CN117542770A ,2024-02-09

[2]

晶圆传输系统 [P].

张吉智 ;

张孝勇 ;

凌复华 .

中国专利 :CN103021916B ,2013-04-03

[3]

晶圆传输盒 [P].

叶莹 ;

张冬峰 ;

鲍伟成 ;

王文广 ;

王旭晨 ;

祝佳辉 .

中国专利 :CN114628292A ,2022-06-14

[4]

晶圆传输盒 [P].

肖志坚 ;

吕秋玲 ;

杨洪春 ;

杨斌 .

中国专利 :CN201163617Y ,2008-12-10

[5]

晶圆承载传输系统及晶圆盒自动传输方法 [P].

刘强 .

中国专利 :CN120221478A ,2025-06-27

[6]

前开式晶圆传输盒及晶圆传送系统 [P].

曾德强 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208111412U ,2018-11-16

[7]

晶圆电镀系统的晶圆传输设备 [P].

孙文杰 ;

谭笑 ;

肖凌峰 ;

孙雪峰 .

中国专利 :CN218160326U ,2022-12-27

[8]

晶圆盒传输设备 [P].

薛强 ;

刘世振 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN209496832U ,2019-10-15

[9]

晶圆传输装置和晶圆传输系统 [P].

崔国昂 ;

王锐廷 ;

南建辉 ;

杨斌 ;

赵宏宇 .

中国专利 :CN113437004A ,2021-09-24

[10]

晶圆传输设备及晶圆传输系统 [P].

庄协兴 ;

杨东儒 .

中国专利 :CN118156195A ,2024-06-07

← 1 2 3 4 5 →