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晶圆盒的传输系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202211391244.8
申请日：
2022-11-07
公开(公告)号：
CN117542770A
公开(公告)日：
2024-02-09
发明(设计)人：
严逸锋
许世龙
邓国星
董正雄
申请人：
采钰科技股份有限公司
申请人地址：
中国台湾新竹科学园区新竹市笃行一路12号
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/673
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20221107 |
| 2024-02-09 | 公开 | 公开 |