晶圆传输系统（FTS）

被引：0

专利类型：

外观设计

申请号：

CN202430589441.4

申请日：

2024-09-14

公开(公告)号：

CN309314432S

公开(公告)日：

2025-05-30

发明(设计)人：

倪萌陈垒吴沃祖

申请人：

上海大族富创得科技股份有限公司

申请人地址：

201112 上海市闵行区万芳路555号1幢1层102室、2层202室

IPC主分类号：

15-99

IPC分类号：

代理机构：

重庆商贝知识产权代理事务所(普通合伙) 50323

代理人：

龙钰

法律状态：

授权

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-30	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆传输装置和晶圆传输系统 [P].

崔国昂 ;

王锐廷 ;

南建辉 ;

杨斌 ;

赵宏宇 .

中国专利 :CN113437004A ,2021-09-24

[2]

晶圆传输设备及晶圆传输系统 [P].

庄协兴 ;

杨东儒 .

中国专利 :CN118156195A ,2024-06-07

[3]

晶圆传输装置和晶圆传输系统 [P].

崔国昂 ;

王锐廷 ;

南建辉 ;

杨斌 ;

赵宏宇 .

中国专利 :CN113437004B ,2024-02-27

[4]

晶圆传输系统 [P].

张吉智 ;

张孝勇 ;

凌复华 .

中国专利 :CN103021916B ,2013-04-03

[5]

晶圆传输系统的夹持装置及晶圆传输系统 [P].

丁同周 ;

孙增强 ;

田永安 .

中国专利 :CN118213318A ,2024-06-18

[6]

晶圆盒传输系统 [P].

朱玉东 ;

何海龙 ;

韩磊 ;

姚东东 .

中国专利 :CN222472516U ,2025-02-14

[7]

晶圆翻转装置和晶圆传输系统 [P].

高少飞 ;

王锐廷 ;

南建辉 ;

杨斌 ;

赵宏宇 ;

张虎威 .

中国专利 :CN113314450B ,2021-08-27

[8]

晶圆承载传输系统及晶圆盒自动传输方法 [P].

刘强 .

中国专利 :CN120221478A ,2025-06-27

[9]

晶圆传输系统、晶圆传输方法以及缺陷检测装置 [P].

周许超 ;

金攀 ;

陈志刚 ;

张记晨 ;

杨金国 ;

潘炼东 ;

刘涛 .

中国专利 :CN117855116A ,2024-04-09

[10]

压控晶圆载体以及晶圆传输系统 [P].

陈世宏 .

中国专利 :CN104051310A ,2014-09-17

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