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一种半导体晶圆除尘清洗机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202421285408.3
申请日：
2024-06-06
公开(公告)号：
CN222507559U
公开(公告)日：
2025-02-18
发明(设计)人：
金成贤
朴渊珏
李汉烈
申请人：
光晋科技（合肥）有限公司
申请人地址：
230000 安徽省合肥市新站区龙子湖路与通宝路交口西北角
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/683
H01L21/673
代理机构：
安徽盛世金成知识产权代理事务所(普通合伙) 34196
代理人：
何明明
法律状态：
授权
国省代码：
山西省
吕梁市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-18 | 授权 | 授权 |