一种晶圆盒的检测设备及晶圆盒的检测系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411590088.7

申请日：

2024-11-08

公开(公告)号：

CN119381316A

公开(公告)日：

2025-01-28

发明(设计)人：

李锋杨雪松王浩源丁超

申请人：

江苏纳沛斯半导体有限公司

申请人地址：

223002 江苏省淮安市工业园区发展西道18号

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/66

代理机构：

淮安奕品智略知识产权代理事务所(普通合伙) 32901

代理人：

喻桂花

法律状态：

授权

国省代码：

黑龙江省哈尔滨市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-05	授权	授权
2025-02-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20241108
2025-01-28	公开	公开

共 50 条

[1]

一种晶圆盒的检测设备及晶圆盒的检测系统 [P].

李锋 ;

杨雪松 ;

王浩源 ;

丁超 .

中国专利 :CN119381316B ,2025-09-05

[2]

晶圆盒检测设备及晶圆盒系统 [P].

赵丽云 ;

徐全柱 ;

王博 ;

朱程义 .

中国专利 :CN223389423U ,2025-09-26

[3]

晶圆盒的检测方法及晶圆盒的检测系统 [P].

蔡政焜 ;

施英汝 .

中国专利 :CN109767999A ,2019-05-17

[4]

一种晶圆盒检测系统 [P].

管涛 ;

甄福强 ;

殷赛赛 .

中国专利 :CN217788335U ,2022-11-11

[5]

一种晶圆盒开盒器的晶圆状态检测系统 [P].

申勇 ;

季滔 ;

顾俊 .

中国专利 :CN223052103U ,2025-07-01

[6]

晶圆检测系统及晶圆检测设备 [P].

陈韦志 ;

游本懋 ;

林怡彦 .

中国专利 :CN212967612U ,2021-04-13

[7]

晶圆检测系统及晶圆检测设备 [P].

陈韦志 ;

游本懋 ;

林怡彦 .

中国专利 :CN114093787A ,2022-02-25

[8]

晶圆检测系统及晶圆检测设备 [P].

陈韦志 ;

游本懋 ;

林怡彦 .

中国专利 :CN114093787B ,2025-07-11

[9]

晶圆检测设备的控制方法、晶圆检测方法及晶圆检测设备 [P].

张鹏斌 ;

魏新和 ;

董坤玲 ;

段晓炳 ;

吴彦强 ;

杨亭 ;

张谦 ;

陈鲁 .

中国专利 :CN120685668A ,2025-09-23

[10]

晶圆盒检测系统及晶圆出货管理方法 [P].

权林 ;

林威斌 ;

吴恬辛 ;

陈晓春 ;

祝杰 .

中国专利 :CN111310870A ,2020-06-19

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