一种单晶硅片的双面抛光用夹具

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420048144.3

申请日：

2024-01-09

公开(公告)号：

CN222405099U

公开(公告)日：

2025-01-28

发明(设计)人：

陈锋沈国君汪征傅兴群陆勇

申请人：

浙江众晶电子有限公司

申请人地址：

324300 浙江省衢州市开化县华埠镇马金路6号（自主申报）

IPC主分类号：

B24B41/06

IPC分类号：

代理机构：

温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390

代理人：

袁梦

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省衢州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-28	授权	授权

共 50 条

[1]

一种单晶硅片的双面抛光装置 [P].

杜建伟 ;

周伟平 .

中国专利 :CN210209924U ,2020-03-31

[2]

一种单晶硅片的双面抛光装置 [P].

向菊 .

中国专利 :CN213081112U ,2021-04-30

[3]

一种用于单晶硅片抛光用的承载台 [P].

陈锋 ;

沈国君 ;

陆勇 ;

刘太盛 .

中国专利 :CN215281566U ,2021-12-24

[4]

单晶硅片磨削夹具 [P].

陈创 .

中国专利 :CN218137314U ,2022-12-27

[5]

一种单晶硅片抛光装置 [P].

邹彩凤 .

中国专利 :CN222818610U ,2025-05-02

[6]

一种单晶硅片抛光机用夹具装置 [P].

孙韬 .

中国专利 :CN211332748U ,2020-08-25

[7]

一种单晶硅片的双面清洗装置 [P].

严循成 ;

王祥 ;

何迎辉 .

中国专利 :CN223680062U ,2025-12-16

[8]

一种单晶硅片抛光机 [P].

周磊 ;

段琳琳 .

中国专利 :CN222831511U ,2025-05-06

[9]

一种单晶硅片脱胶机夹具 [P].

何其金 ;

何飞 ;

方艺霖 ;

徐小萍 ;

严磊 .

中国专利 :CN223023229U ,2025-06-24

[10]

一种表面覆膜的双面单晶硅片 [P].

周士杰 ;

陈圣铁 .

中国专利 :CN206441742U ,2017-08-25

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