一种用于单晶硅片抛光用的承载台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120153658.1

申请日：

2021-01-20

公开(公告)号：

CN215281566U

公开(公告)日：

2021-12-24

发明(设计)人：

陈锋沈国君陆勇刘太盛

申请人：

申请人地址：

324300 浙江省衢州市开化县华埠镇银辉路5号

IPC主分类号：

B24D908

IPC分类号：

B24D910 B24B2902

代理机构：

温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390

代理人：

钱磊

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种单晶硅片的双面抛光用夹具 [P].

陈锋 ;

沈国君 ;

汪征 ;

傅兴群 ;

陆勇 .

中国专利 :CN222405099U ,2025-01-28

[2]

单晶硅片抛光工作台 [P].

陈创 .

中国专利 :CN218137200U ,2022-12-27

[3]

一种单晶硅片抛光装置 [P].

邹彩凤 .

中国专利 :CN222818610U ,2025-05-02

[4]

一种新型的单晶硅片承载器 [P].

魏泽武 ;

周炎 .

中国专利 :CN210223975U ,2020-03-31

[5]

一种单晶硅片的双面抛光装置 [P].

杜建伟 ;

周伟平 .

中国专利 :CN210209924U ,2020-03-31

[6]

一种单晶硅片的双面抛光装置 [P].

向菊 .

中国专利 :CN213081112U ,2021-04-30

[7]

一种单晶硅片抛光机 [P].

周磊 ;

段琳琳 .

中国专利 :CN222831511U ,2025-05-06

[8]

单晶硅片碱抛光用添加剂及其应用 [P].

杨勇 ;

章圆圆 ;

陈培良 .

中国专利 :CN113668067B ,2021-11-19

[9]

一种单晶硅片 [P].

吉新安 .

中国专利 :CN218499057U ,2023-02-17

[10]

一种单晶硅片 [P].

周日发 .

中国专利 :CN202633334U ,2012-12-26

← 1 2 3 4 5 →