一种半导体芯片制造用高纯化学品的供给输送装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411505551.3

申请日：

2024-10-28

公开(公告)号：

CN119333744A

公开(公告)日：

2025-01-21

发明(设计)人：

赵龙山吴玉明李斯林王宇晴白春艳

申请人：

冠礼控制科技（上海）有限公司

申请人地址：

200131 上海市浦东新区自由贸易试验区荷丹路126号一层

IPC主分类号：

F17D3/01

IPC分类号：

F17D1/08

代理机构：

上海科政专利代理事务所(普通合伙) 31463

代理人：

杨军

法律状态：

公开

国省代码：

上海市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-21	公开	公开
2025-02-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):F17D 3/01申请日:20241028

共 50 条

[1]

用于制造半导体芯片的高纯化学品的输送系统 [P].

戴志超 ;

叶国梁 ;

沈琦 .

中国专利 :CN117936428A ,2024-04-26

[2]

用于制造半导体芯片的高纯化学品的输送系统 [P].

戴志超 ;

叶国梁 ;

沈琦 .

中国专利 :CN117936428B ,2024-07-19

[3]

一种高纯化学品的输送装置 [P].

赵龙山 ;

李斯林 ;

吴玉明 ;

桂文轩 ;

白春艳 ;

姬荟 .

中国专利 :CN120819706A ,2025-10-21

[4]

一种高纯化学品连续稳定输送装置 [P].

朱俭 .

中国专利 :CN216104481U ,2022-03-22

[5]

一种高纯化学品连续稳定输送装置 [P].

周懂懂 ;

唐蓉 .

中国专利 :CN118651592A ,2024-09-17

[6]

一种高纯化学品连续稳定输送装置 [P].

袁杰 ;

李斯林 ;

余为超 ;

胡国栋 .

中国专利 :CN117989415A ,2024-05-07

[7]

一种高纯化学品连续稳定输送装置 [P].

周懂懂 ;

唐蓉 .

中国专利 :CN118651592B ,2024-11-29

[8]

一种半导体用化学品输送装置 [P].

谢信弘 .

中国专利 :CN211336021U ,2020-08-25

[9]

用于制造半导体芯片的高粘稠度化学品的输送及冲洗系统 [P].

戴志超 ;

叶国梁 ;

沈琦 .

中国专利 :CN118080276A ,2024-05-28

[10]

一种高纯化学品连续稳定输送系统 [P].

汤安东 ;

彭志远 ;

黄波 .

中国专利 :CN204986417U ,2016-01-20

← 1 2 3 4 5 →