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用于制造半导体芯片的高纯化学品的输送系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410112649.6
申请日：
2024-01-26
公开(公告)号：
CN117936428A
公开(公告)日：
2024-04-26
发明(设计)人：
戴志超
叶国梁
沈琦
申请人：
江苏雅克福瑞半导体科技有限公司
申请人地址：
214200 江苏省无锡市宜兴市屺亭街道荆邑北路109号宜兴创业园
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
代理机构：
苏州国诚专利代理有限公司 32293
代理人：
陶纯佳
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-07-19 | 授权 | 授权 |
| 2024-05-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20240126 |
| 2024-04-26 | 公开 | 公开 |