一种受热均匀的晶圆加热装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411482301.2

申请日：

2024-10-23

公开(公告)号：

CN119446974A

公开(公告)日：

2025-02-14

发明(设计)人：

任凯何雅彬许为民

申请人：

上海博纳微电子设备有限公司

申请人地址：

200120 上海市浦东新区秀浦路3999号12栋2楼（西门）

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H05B3/02 H05B3/06 H05B3/20

代理机构：

无锡苏盈专利代理有限公司 32787

代理人：

吴忠义

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20241023
2025-02-14	公开	公开
2025-12-23	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回IPC(主分类):H01L 21/67申请公布日:20250214

共 50 条

[1]

一种受热均匀的晶圆加热装置 [P].

何霁 ;

徐俊怡 ;

刘颂伟 .

中国专利 :CN221783174U ,2024-09-27

[2]

一种受热均匀的加热装置 [P].

杜海兵 .

中国专利 :CN220763253U ,2024-04-12

[3]

晶圆均匀加热装置 [P].

胡东辉 ;

郭剑飞 ;

陈林 ;

姚建强 ;

杨富池 ;

李旭明 ;

邢耀淇 ;

赵轶 .

中国专利 :CN206194704U ,2017-05-24

[4]

一种晶圆均匀加热装置 [P].

徐同德 ;

谢东 .

中国专利 :CN222356568U ,2025-01-14

[5]

一种可均匀受热的加热装置 [P].

司晓强 ;

刘敬文 ;

张思含 ;

封倩 ;

苏涵滋 ;

王营 ;

张含 .

中国专利 :CN221182830U ,2024-06-21

[6]

一种受热均匀的导体预加热装置 [P].

王君实 ;

吴凤旭 .

中国专利 :CN222827377U ,2025-05-02

[7]

一种受热均匀的玻璃加工用加热装置 [P].

孙祯彬 .

中国专利 :CN210367448U ,2020-04-21

[8]

一种受热均匀的钢板加热装置 [P].

张耀凯 ;

卞开旺 ;

侯继杰 ;

卞利斌 .

中国专利 :CN221840041U ,2024-10-15

[9]

一种受热均匀的真空加热装置 [P].

汪威 ;

林纬 ;

王为治 ;

张艳 .

中国专利 :CN213657118U ,2021-07-09

[10]

一种受热均匀的加热辊 [P].

喻晓 .

中国专利 :CN207874893U ,2018-09-18

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